上海至临半导体是至纯科技发起设立的半导体设备公司，从事半导体器件专用设备研发等。

陈新来　庄微娜　孟德庆　廖世保　黄腾燕

2021年3月1日，至临半导体获得数千万人民币的A轮融资，投资方为上海半导体装备材料基金。

上海至临半导体技术有限公司，自2020年12月成立以来，便作为至纯科技旗下的半导体设备公司，专注于半导体器件专用设备的研发与创新。至临半导体秉承至纯科技的核心技术实力与行业经验，致力于推动半导体行业的发展，为市场提供高性能、高品质的半导体设备解决方案。