上海昶火微电子科技有限公司于2021年4月创立，地址位于上海临港。昶火微科致力于开发半导体硅基纳米薄膜生长工艺解决方案，是国内专注于大面积平板镀膜装备研发制造企业，主要解决光伏异质结太阳能高效电池所需的纳米级非/微晶硅薄膜，液晶面板TFT lcd所需的低温非晶硅薄膜，柔性oled显示所需低温氮化硅薄膜，以及光学等其他行业所需的微电子薄膜。

 

作为微电子薄膜技术领域专家，昶火微科在基于大面积薄膜领先技术优势下，在异质结及钙钛矿叠层电池核心工艺装备研发方面取得了重大进展，针对异质结及钙钛矿叠层高效电池的痛点开发了行业所需的运行高效、工艺灵活的大面积团簇式PECVD真空复合镀膜装备，具备完全自主知识产权。