2016年10月14日，科益虹源获得天使轮融资，金额未透露，投资方为亦庄国投、国科控股。

2017年9月11日，科益虹源获得A轮融资，金额未透露，投资方为中科院微电子。

2018年1月1日，科益虹源获得B轮融资，金额未透露，投资方为中关村发展集团。

2021年6月6日，科益虹源获得近亿人民币的战略投资，投资方为哈勃投资(华为旗下)。

北京科益虹源光电技术有限公司，成立于2016年7月，是专注光刻准分子激光技术研究和产业化的公司。注册资本12000万元人民币，股东包括中国科学院微电子研究所、北京亦庄国际投资发展有限公司、国科科仪控股有限公司以及科益虹源技术和管理团队。

 

公司地理位置优越，位于北京市国家级经济技术开发区——北京市经济技术开发区（亦庄），这里集中了大量的高新技术产业，在吸引和聚集人才方面具备坚实基础和独特优势。

 

依托中科院的人才和技术基础，国科科仪和亦庄国投的产业力量，公司已搭建起多个准分子激光技术研究、产品研发平台，拥有一支涵盖光、机、电、控、测、系统、集成等技术研发和生产制造能力的百余人专业团队，其中博士6人，硕士37人，高级职称13人。