上海睿励是一家集成电路工艺检测设备供应商，从事集成电路生产制造工艺检测设备的开发和研制，为用户提供光学测量设备、光学关键尺寸分析系统、镓液态离子源、缺陷检测、等离子体灰化等产品，广泛用于科学仪器、微电子等领域。

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睿励科学仪器(上海)有限公司成立于2005年6月，注册资本11833.4448万元人民币。上海睿励是一家集成电路工艺检测设备供应商，从事集成电路生产制造工艺检测设备的开发和研制，为用户提供光学测量设备、光学关键尺寸分析系统、镓液态离子源、缺陷检测、等离子体灰化等产品，广泛用于科学仪器、微电子等领域，目前拥有的主要产品包括光学检测设备、硅片厚度及翘曲测量设备及子公司宏观缺陷检测设备等。